REVASUM(ASX: RVS)은 한국 천안 소재 선도적인 탄화규소 기판 제조 기술 기업인 SENIC으로부터 6EZ 탄화규소 CMP 시스템 구매 의향서를 확보했습니다.

Sep 07, 2023

샌 루이스 오비스포, 캘리포니아주, 2023년 7월 28일 /PRNewswire/ -- 2023년 4분기에 Senic에 배송될 이번 구매 계획은 실리콘 카바이드를 지원하는 데 사용할 수 있는 가장 유연한 화학 기계적 연마(CMP) 플랫폼으로서의 6EZ의 입지를 강화합니다. (SiC) 기판 제조 및 SiC 기반 MOSFET과 같은 장치 제조.

최근 출시된 6EZ의 200mm 변환 키트를 통해 이 도구는 대한민국 천안에 있는 Senic 시설에서 150mm 및 200mm SiC 기판 제조를 지원할 수 있습니다.

6EZ CMP 시스템은 Revasum의 7AF-HMG SiC 연삭기로 개발되어 연삭 공정에서 표면 아래 손상을 제거합니다. 6EZ는 웨이퍼 전반에 걸쳐 최소한의 총 두께 변화(TTV)와 1.5옹스트롬 정도의 표면 거칠기(RA)를 제공합니다.

Revasum의 전세계 판매 및 마케팅 담당 부사장인 Chris Sloan은 한국의 이 전략적 고객과의 파트너십 개발에 대해 다음과 같이 말했습니다. "이것은 실리콘 카바이드 기판 제조를 위한 진정한 글로벌 환경에서 Revasum의 중요한 다음 단계입니다. 실리콘에 대한 수요 카바이드 장치는 국제 공급망이 이러한 노력을 지원하도록 조정하고 있으며, 업계 최고의 6EZ CMP 플랫폼을 통해 Senic의 혁신적인 팀과 파트너십을 구축하게 되어 기쁘게 생각합니다."

Senic의 서진동 웨이퍼사업부 부사장은 "이번 파트너십이 양사 간 긍정적인 시너지를 창출할 것으로 믿으며, Revasum의 6EZ CMP 시스템을 통해 Senic은 고객에게 더 나은 표면 품질의 SiC 웨이퍼를 제공할 수 있을 것"이라고 말했습니다. . 6EZ는 탄화규소 기판 제조 분야에서 이미 그 성능이 입증된 만큼, 글로벌 산업 수요를 충족하기 위해 생산량을 늘리는 데 있어 6EZ 시스템이 Senic을 위한 최선의 선택이라고 믿습니다."

Revasum, Inc. 소개:Revasum(https://www.revasum.com)은 반도체 제조에 사용되는 자본 장비를 제조합니다. 당사의 현재 제품 포트폴리오에는 글로벌 반도체 산업을 위한 탄화 규소 기판 및 장치를 제조하는 데 사용되는 연삭 및 화학 기계 연마 장비가 포함됩니다.

SENIC, Inc. 소개: SENIC(http://www.senic.co.kr)는 대한민국 천안에 본사를 둔 글로벌 실리콘 카바이드 웨이퍼 제조 혁신업체입니다. 이 회사는 RF 및 전력전자용 150mm 및 200mm 탄화규소(SiC) 잉곳과 기판은 물론 SiC 웨이퍼 재생 서비스도 제공합니다.

미디어 연락처:Bruce [email protected]

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